用氧化锆氧分析仪除可以分析氧气产品的氧纯度外，也可分析高纯氩和高纯氮中的微量氧。根据气体中微量氧的含量，要将分析仪调到相应的量程档次。例如：0.1×10-6～10×10-6，8×10-6～100×10-6，80×10-6～1000×10-6，0.08%～1%，0.8%～10%等。它在测定时首先要将气源加热到750～850℃，所以要在接通电源，待炉温指示灯闪亮后方可进行氧含量值的测定。在使用时，应注意以下一些事项：
1)控制流量。切不可用大流量，以免冲击锆管，使锆管破裂、损坏。流量一般为500mL/min。
2)检查气密性。可用逐步检漏法，取出机芯检查。锆管有一个三通接头，容易发生漏气的有两处：一处为流量计漏气；另一处为氧化锆管破裂。先通入微量气体，使流量转子升至顶端满刻度处，然后堵住流量计出气管口。如果流量转子下不来，则说明流量计漏气；如果堵住仪器出口转子下不来，则说明锆管破裂。
3)用于氩气分析时，流量计读数在左侧；用于氮气分析时，流量计读数在右侧。
4)用于分析高纯氩或高纯氮时，如果将量程放在最小挡，指针一直靠左边，表明气中有还原性气体，例如H2、CmHn、CO等。应设法除去，否则就无法测定。
5)测定含氧量小于0.1×10-3时，不宜用乳胶管连接，应用金属管连接。
