根据工业用气态氧的国家标准，分析氧气纯度采用铜氨溶液吸收法。目前小型制氧机生产中都采用这种方法。对于大型制氧机生产，可作为校核自动分析仪的标准方法。
该分析方法的原理是：用量气管取100mL样品气，然后把取好的样品气送入充满吸收液和铜丝圈的吸收器内。氧气经反应后被吸收，样品气体积骤减。再把吸收后剩余的气体引回量气管测量其体积缩减。样品气减少的毫升数就是样品气中所含的氧气量。因为样品气量为100mL，所以直接读出氧气的体积百分含量。
分析器由带三通旋塞的量气管、吸收器和水准瓶组成。量气管和吸收器用内径为2mm的玻璃毛细管和橡皮管连接。吸收器内装满用直径约1mm的纯铜绕成的铜丝圈，水准瓶用橡皮管和量气管连接。在水准瓶、量气管和吸收器内充以吸收液。
吸收液的配制方法为：将600g氯化铵(分析纯)溶解于1000mL蒸馏水中，加入1000mL质量分数为25%～28%的氨水，混合均匀后倒入装满铜丝圈的吸收器中即成。
在有氨存在时，铜易被氧化生成氧化铜和氧化亚铜。它们再与氢氧化铵、氯化铵作用，生成可溶性高铜盐和亚铜盐。而亚铜盐易吸收氧生成高铜盐，高铜盐又被铜还原成亚铜盐。如此反复循环作用，达到吸收氧的目的。
影响分析准确性的因素有：
1)仪器的气密性。特别是三通旋塞应经常涂抹润滑脂，使之转动灵活，又不漏气。
2)吸收剂。铜丝会不断消耗，应注意经常补充，保持在吸收瓶容量的4/5左右。吸收液出现黄色时就应更换。更换时要留下约1/5的旧溶液，以增加新换溶液中的亚铜盐。
3)取样。分析管中不能有残气，取样前要吹洗管道；取样动作要迅速，以免因边取样边被吸收，将影响准确度；取样数量要准确。
4)分析。气体送入吸收瓶后要充分摇晃，使氧被充分吸收；气体返回量气管时，速度不能过快，以免空气漏入分析器；读数时，水准瓶中的液面应与量气管中的液面在同一水平面上；为检验分析结果是否精确，可再次将剩余气体送入吸收瓶吸收，然后再回到量气管读数。如果两次分析结果相差不大于0.01%，则说明分析是正确的。
