| 项目 | 指标 | ||
| 优等品 | 一等品 | 合格品 | |
| 氧纯度，10-2，≥ | 99.999 | 99.998 | 99.995 |
| 氩含量，10-6，≤ | 2 | 5 | 10 |
| 氮含量，10-6，≤ | 5 | 10 | 20 |
| 二氧化碳含量，10-6，≤ | 0.5 | 1 | 1 |
| 总碳含量（以甲烷计），10-6，≤ | 0.5 | 1 | 2 |
| 水分含量，露点℃，≤ （10-6） |
-72 (2) |
-70 (2.5) |
-69 (3) |
注：表中纯度和含量为体积分数。
高纯氧检验规则：
高纯氧应由生产厂的质量检验部门检验。生产厂应保证所有出厂产品符合本标准要求。
瓶装高纯氧应逐瓶进行检验。
液态高纯氧从毎一贮运容器中采样检验。
检验管道中的高纯氧，在设置的分析口采样，8h内至少采样检查两次。
当检验结果各项指标均符合标准要求时，整批验收合格。
当被检验的高纯氧有任何一项指标不符合本标准要求时，则该瓶产品视为不合格产品。
用户亦按照本标准规定验收。用户在高纯氧入库三天内对钢瓶内压力进行测量。
当用户和生产厂对产品质量发生意见分歧时，由双方共同检验或提请仲裁。
