从空分装置中提取氖、氦的工序大体分3步第一步制取粗氖、氦气;第二步制取纯氖、
氦混合物;第三步氖、氦分离,而获得纯氖、纯氦产品。
粗氖、氦气制备的目的是除掉原料中的氮,使之浓缩。由于氮与氖、氦的沸点相差很大,约为50K以上,故可采用分凝法分离在分凝器或辅塔中,用低压液氮作为冷源,使具有下塔压力的氖、氦原料气中的氮冷凝,得到含氖、氦约为1%~3%,其余为氮的粗氖、氦混合气,而后进入纯氖,氦气制备工序。有些工序粗氖、氦气要经过除氢和除氮两步。除氢用加氧催化法使氢生成水,再由干燥器吸附清除。其余的氮再用冷凝法或采用活性炭低温吸附清除。
由于氖、氦的沸点相差约为23K ,听以,纯氖、氦混合气的分离可采用冷凝法分离。因氖的凝固温度为-248.7℃,还可以用凝固冻结法将气氮和固氖分离