如果六氟化硫气体的纯度低了，其绝缘强度将大幅度下降，使用在电器绝缘时容易被高电压击穿造成事故从有关部门的试验及研究结果得知。那么出现六氟化硫气体纯度不纯了有哪些原因？
（1）六氟化硫气体纯度不纯，出厂时含高毒性的低氟化硫、氟化氢等有毒气体。大家知道，目前化工行业制造六氟化硫气体的方法主要是采用单质硫磺与过量气态氟直接化合反应而成；即S+3F2→SF6+Q（放出热量）。在合成的粗品中含有多种杂质，其杂质的组成和含量因原材料的纯 度、生产设备的材质、工艺条件等因素的影响而有很大差异，杂质总含量可达5%。其组成有硫氟化合物，如：S2、F2、SF2、SF4 等；硫氟氧化合物如SOF2、SO2F2、 SOF4 等 以及原料中带入的杂质如 HF、OF2、CF4、N2、O2等。为了净化粗品中的杂质，合成后的 SF6气体还需要经过水洗、碱洗、热解（去除剧毒的十氟化物）、干燥、吸附、冷冻、蒸馏提纯等一系列净化处理过程才能得到纯度在99.8%以上的产品。然后再用压缩机加压，充入降温至-80℃左 右的钢瓶中，以液态形式存在。在使用时减压放出，呈气态冲入电气设备中。
（2）电器设备内的SF6气体在高温电弧发生作用时而产生的某些有毒产物。
例如：SF6气体在电弧中的分解和与氧的反应：会生成氟化亚硫酰、四氟化硫酰 、氟化硫酰等有毒物质。
（3）电器设备内的六氟化硫气体分解物与其内的水分发生化学反应而生成某些有毒产物。 例如：SF6气体分解物与水的继发性反应生成氢氟酸、二氧化硫、硫酸等
（4）电器设备内的 SF6气体及分解物与电极（Cu－W 合金）及金属材料（AL、Cu）反应而生成某些有毒产物。 例如：SF6气体及分解物与电极或其它材料反应： ALF3（固态粉末）ALF3（固态粉末）CuF2(固态粉末) 等固态粉末
（5）电器设备内的SF6气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板（棒、管）等绝缘件；或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等产物。
