高纯氢气中的氢气体积比含量在99.999%以上，其生产工艺根据原料来源不同，有低温吸附法,变压吸附法,金属氢化物法，钯膜扩散法等多种方法。高纯氢是工业气体中的一个重要品种，广泛应用于化工、石化、石油、能源、电子、冶金、机械、核工业、航空航天等诸多领域。近年来，随着国内外工业气体市场的迅速增长, 高纯氢的求量也一直呈上升态势。
电子工业用高纯氢气配制混合掺杂气的底气，用于生产电真空材料和器件大规模和超大规模集成电路的制造，以及氢曾闸管、离子管、激光管等各种充气电子管的填充，都需要纯度很高的氢气。电子行业是目前高纯氢的最大用户，仅以生产大规模集成电路为例，国内每年生产十亿块集成电路，约需消费高纯氢一千万立方米。氢气与硅烷的混合气在能源工业中用于制造大面积、高质量的非晶硅太阳能电池，在大容量太阳能电站飞机驱动电池民用供热采暖等方面都有应用。据有关专家预测，世界太阳能电池的年销售额将达到数一百亿美元。
在石化行业中,高纯氢气用于原油蒸馏或大型裂解装置所得馏分的精制,在双氧水、M DI和TDI生产中的加氢工艺也需要大量的氢气.氢气作为还原剂,在冶金工业中还原金属氧化物,钨、钛、钴、钼、铬等高品质产品。在食品工业中用作食品加工助剂, 生产人造黄油及油脂氢化。此外，氢气在浮法玻璃、金属热处理、汽车燃料电池、航天器液体燃料、光导纤维等领域中也具有潜在的应用市场。
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