同其他标准气体制备不同的是，配制电子混合气体的装置似乎更为复杂，电子混合气体配气装置所用的管路必须是EP级别，材质为316L，精密压力表或压力传感器精度优于0.25级，材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统。
电子混合气常用的平衡气或称底气：N2,H2,He,Ar,O2;组分气：PH3,SiH4,B2h6,Sih6,GeH4,AsH3,TMB,BF3等，为了减少平衡气体中有害杂质的含量，设有平衡气体高压净化器，通过净化平衡气的纯度大于99.9999%，在净化器的出口设有在线H2O,O2检测仪表，随时反映净化器出口气体关键杂质的含量，这此净化器内置气体过滤器。
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