高纯气体的概念会不会伤害，这个关系不大，只是表达了一种纯度，先说臭混混的二氧化硫，具有腐蚀性气味难闻，吸入人体会轻度中毒，一氧化碳是有毒气体，无色无味，吸入一定量的一氧化碳会中毒身亡，一氧化氮具有腐蚀性，吸入人体后会损坏呼吸道，呼吸窘迫综合征。硫化氢气体具有腐蚀性和剧毒，也是强力的神经毒素，吸入会慢性中毒和急性中毒。
还有一些在微电子行业用的一些有毒有害气体对人体的危害，砷烷剧毒气体有大蒜味，人体吸入250ppm的量就会立即死亡，磷烷剧毒气体和砷烷的危害性相仿，乙硼烷剧毒气体，有臭臭的异味，人体吸入微量就会中毒。
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