在标准气体制备和分析中，必须对有害气体进行除害处理，以确保安全。
1．废气处理的基本原则和要求
废气处理的基本原则是，先将废气变成无毒、不燃的状态，然后再进行废物处理，一般要求是，尽量减少或避免对人体的危害和对环境的污染。
废气处理的几种基本方法：1、燃烧法 2、 吸收法 3、吸附法 4、稀释法
（1）燃烧法
此法适用于处理各种可燃性气体，它是将有害物质通过燃烧转化成无害或危害少的物质，或者转化成便于捕促的形式。燃烧法还可分为与空气混合直接燃烧的方法和借助催化剂氧化的方法。
（2）吸收法
它适用于处理水溶性物质和与水反应的物质，也适用于处理一些溶于酸碱溶液或与酸碱溶液反应的物质，它是通过气体和吸收剂的接触把有害物质吸收到液相中，常见的吸收液有水、氢氧化钠等碱的水溶液。气液两相接触的方法有喷淋式和鼓泡式。
（3）吸附法
吸附法也叫干法，是用固体吸附剂吸附气体中的有害成分。吸附剂因所吸气体组分不同有多种多样，有多孔质活性碳，氧化铝凝胶、硅胶、硅藻土等。
（4）稀释法
它是以氮或其它惰性气体或空气把废气中的有害成分含量稀释后再排放的方法，这种方法比较简单，对大多数气体都适用。但从人类的长远利益出发，最好不用此方法。
