目前微量氧的分析一般采用氧分仪和气相色谱分析，不论采用哪种分析方法，微量氧的分析采样是一个关键技术，因为空气中含有大量的氧气，如果取样过程出现任何小的纰漏都会造成数据的严重失真。在前面我们讲过 ，取样阀一定要采用直通不带压力表的针形微调阀，这种阀死体积小，置换起来比较方便，管线也一定要采用不锈钢硬链接的管线，任何软管都不能采用。气相色谱分析微量氧的方法主要有TCD、ECD、DID以及氧化锆和质谱等方法，目前气相色谱分析微量氧采用的色谱柱基本上都是填充柱，氧和氩气很难分开，这样就给TCD、DID等检测器分析微量氧带来了很大麻烦，因为我们国内生产的高纯氮气都含有2~上百ppm的氩气，国内生产标准气体的厂家基本上都没考虑高纯氮中氩的引入，这样很多客户在使用气相色谱来分析微量氧时的数据完全失真，常常抱怨标准气体不准，因为高纯氮气中的微量氩很难除掉，用氦气或其他气体做平衡气，来解决这个问题，在必须采用氮气做平衡时，会给出氩气的含量作为分析微量氧的参考数据。
