同其他气体不同,对盛装电子混合气体的气瓶的要求十分严格,否则,即便是混合气体配制的准确度再高,稳定性再好也无法使用。
首先混合气体的气瓶几何尺雨如体积、直径、瓶高度要满足用户要求。在半导体等领域,气瓶通常安放在气瓶柜内使用,气瓶柜的尺寸及连接的管阀件确定后,气瓶的高矮胖瘦就不能随心所欲了。对于不同种类的混合气在气瓶色标、警示标志等方面国外已有极其详细的标准,如美国的CGA、欧盟的ISO等,我们国家在此方面仍在认识和完善中。
同其他气体不同,对盛装电子混合气体的气瓶的要求十分严格,否则,即便是混合气体配制的准确度再高,稳定性再好也无法使用。
首先混合气体的气瓶几何尺雨如体积、直径、瓶高度要满足用户要求。在半导体等领域,气瓶通常安放在气瓶柜内使用,气瓶柜的尺寸及连接的管阀件确定后,气瓶的高矮胖瘦就不能随心所欲了。对于不同种类的混合气在气瓶色标、警示标志等方面国外已有极其详细的标准,如美国的CGA、欧盟的ISO等,我们国家在此方面仍在认识和完善中。