液氩储槽：
液氩储槽由储槽主体、增压器、压力调节装置、安全装置及仪控系统等组成。储槽靠双层容器结构来保温，夹套中间填充珠光砂并抽真空来保证。仪控系统包括槽内压力、液面显示用的压力表、液面计，二次仪表和自动调节阀等。储槽内筒压力增压是由增压器来完成的，当储槽对外界输出液氩有压力要求时，调整该压力设定值可达到要求。
汽化器：
是采用空浴式，液氩通过汽化器散热翅片，与空气进行热交换，使液氩汽化输出。汽化后的氩气经缓冲罐后送到使设备，纯度达到工艺要求。放空阀保证储槽内压力不超高；增压阀保证储槽内的压力维持在规定的范围；液氩流量调节阀控制液氩的汽化量，稳定汽化后氩气的压力。
工作压力：≤2.5MPa（G）
汽化量：≥120Nm3/h（单台汽化器汽化量） 加热方式：空气
汽化后氩气出口温度：与环境温度温差不大于5℃ 主体材质：铝制翅片（LF21-R）
有了这两个步骤，就能更快的达到工艺要求，迅速帮助液氩气化。
