ICP点火故障问题是因为很多原因组成，排除的方法可以是进样系统里面的水未拍干净，此时点火危险性很大，轻则点不着，重者炬管破裂（炬管破裂的代价有多大，不言自明），开机后点击plasma按钮上的PUMP,用空气冲洗2-3min，再用氩气冲，最后点火。
以上方法不能完成点火，那有可能是氩气纯度问题，一般来说ICP用的氩气纯度应该在0.9999以上，当然也有的资料上说是0.999999以上，当然越纯越好了，所以你不论在什么情况下都要备用一瓶绝对点的着的氩气，易排除氩气纯度的原因，否则你找工程师维修时很可能被骂。氩气不纯，一般来说ICP用的氩气纯度应该在4个9以上，当最好用5个9的氩气。
当ICP点不着火的时候，你应该首先考虑一下是不是氩气纯度问题，如果是就要考虑换更纯的氩气，纯度是没有标准的，因为可以说是需要接近百分之百的纯度，这样才能保证作业顺利完成。当然点不着火的原因还有很多，大家应该多总结、多思考。
