由于气体分为单质气体、多元气体、混合气体和有机化合物气体等，所以可将组成气体的物质（或元素）称为该气体成分。因此气体纯度的含意可理解为：除本气体成份外，所含其它物质的多少。例如：氮气的纯度，是指除N成份外，含的O2、H2、Ar、CO2、H2O、金属、尘粒等杂质的多少；氨气的纯度，是指除NH3成份外，含有的O2、N2、CO2、H2O、尘粒等杂质的多少；又如氮和氦的混合气，是指除N2和He成份外，含有的O2、CO2、H2O尘粒等杂质的多少。
气体纯度的提法有多种，如普通纯、高纯气体、电子纯、特纯等，随着超大规模集成电路（VLSI）和特大规模集成电路（ULSI）的发展，又有VLSI和ULSI级纯的超净气体。这些提法都不十分确切，只是粗略的讲了气体纯度的高低，没有真正说明气体纯度的大小。准确表示气体的纯度，主要有二种方法。即：
1、用百分数表示，如99%，99.5%,99.9%,99.99%,99.999%,99.9999%,99.99999%等。
2、用“N”表示，如3N，5N，4。8N，5。5N，6N，7N等，N数目与（1）中的“9”的个数相对应，小数点后的数表示不足“9”的数。如4N（99.99%），6N（99.9999%）,7N(99.99999%),4.8N(99.998%),5.5N(99.9995%)等。
根据气体纯度的不同，通常又将气体纯度分为四级，即普通气体、纯气体、高纯气体和超高纯气体，下表给出气体纯度等级和器件生产工艺上的应用。
