特种气体的分离方法一般包括精馏法、 吸附法、催化法及膜分离法等方法，下面主 要介绍分离特种气体的精馏法、吸附法及膜分离法。
特种气体是电子工业，特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体，该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向，这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求，以实现气体的市场价值。在这三种分离技术中，精馏技术的操作比较复杂，目前精馏的汁算还处在半经验状态，但分离的气体产品的纯度能满足市场上各种气体的纯度要求；吸附分离技术还有待于吸附剂的发展；膜分离技术是最新的分离模式，它的发展很快，已经对精馏技术和吸附分离技术造成了不同程度的威胁。总之，这三种方法各有优缺点，适应不同的场合，满足不同的要求，为特种气体的分离做出各自的贡献。
