六氟化硫SF6具有卓越的电绝缘性，电绝缘能力是空气、氮气的2.5倍左右。六氟化硫具有很好的灭弧性能，其灭弧能力是空气的100倍左右，而且六氟化硫的化学性质非常稳定，所以六氟化硫被广泛用作绝缘气体，如六氟化硫继电器，六氟化硫高压断路器，六氟化硫互导传感器，六氟化硫避雷针等等。六氟化硫已经成为绝缘油之后的新一代绝缘性好，耐高压的绝缘介质。
在镁合金、镁铝合金的冶炼过程中，常常用六氟化硫气体或者六氟化硫和氮气的混合气体作为保护气体，其目的是防止金属镁及其合金被空气氧化。
在TFT-LCD面板厂及其他微电子行业，六氟化硫常用作清洁气体和蚀刻气体，在光导纤维的生产过程中，也常用六氟化硫作为单膜光纤隔离层掺杂剂。
在大气污染监测和水文地质检测领域，常用六氟化硫作为示踪剂。因为六氟化硫具有无毒、安全、性质稳定、检验方法可靠、空气和水中中含量少等特性，六氟化硫常被作为气体示踪剂使用，六氟化硫的失踪范围可以达100km。
在医疗行业，六氟化硫还用于超声造影，主要是肝脏肿瘤的造影检查。在超声造影过程中，六氟化硫主要作为一种安全的造影剂使用，经静脉注射六氟化硫后，气体溶解于血液，每12分钟六氟化硫气体可以由呼吸方式排出一半。
此外，由于六氟化硫化学性质稳定，分子量大（六氟化硫分子量146.06），其密度是空气的5.11倍，充入汽车轮胎或者篮球、足球中时，将能保持气压长期稳定。
