电子气的分类

为电子工业服务的电子气品种繁多，用途五花八门，它的分类方法亦较为复杂。一般可按电子气组分的性质来分类，也可以按电子气的用途分类。

（一）按电子气组分的性质分类

按组分的性质分类，大致可分为三大类，即单质类气体，化合物类气体和混合物类气体。其中化合物类应用较多，又可细分为三种，即氢化物（如SiH4、PH3、B2H6等）、氟化物（如NF3、BF3、SiF4等）和碳氟化合物（如CF4、C2F6、C5F12等）。

不同成分电子气的分类

为电子工业服务的电子气品种繁多，用途五花八门，它的分类方法亦较为复杂。一般可按电子气组分的性质来分类，也可以按电子气的用途分类。

（一）按电子气组分的性质分类

按组分的性质分类，大致可分为三大类，即单质类气体，化合物类气体和混合物类气体。其中化合物类应用较多，又可细分为三种，即氢化物（如SiH4、PH3、B2H6等）、氟化物（如NF3、BF3、SiF4等）和碳氟化合物（如CF4、C2F6、C5F12等）。

不同成分电子气的分类