所谓的单频准分子激光就是脉冲气体激光，在电流通过时被激活，释放出某一波长的单色光。气体是由惰性气体和卤素混合而成，激活的惰性气体和卤素可形成卤化物 “Ｅｘｃｉｍｅｒ”一词来自激态分子的意思，即受激态准分子是一种激态二聚体“Ｅｘｃｉｍｅｒ Ｄｉｍｅｒ”，这两个单词组合成 “Ｅｘｃｉｍｅｒ”。
目前应用的单频准分子激光主要有以下几种：氩氟（ＡｒＦ）准分子激光其波长１９３ｎｍ；氪氟（ＫｒＦ）准分子激光其波长２４８ｎｍ；氙氯（ＸｅＣｌ）准分子激光其波长３０８ｎｍ； 氙氟（ＸｅＦ）准分子激光其波长３５１ｎｍ等。单频准分子激光是连续的脉冲气体激光，释放的光波长在紫外线范围内，脉冲宽度为１０～３０ ｎｓ，频率为０～３５ Ｈｚ，４种单频准分子激光的波长为气体特异性的。
目前普遍使用的ArF193以及Xecl308准分子激光已经在医学领域和光电行业得到了广泛的应用，气体按科学的方法分析，从稀有气体中去除所有有害的杂质。气体分析证明，这些杂质的存在会影响准分子激光器达到最佳的使用性能。气体公司在全球销售这些优质的稀有气体和平衡气体，以满足所有准分子激光器的使用需求。全球最大的准分子激光器气体制造商已经证明：和任何激光器相关的任何气体或气体混合物，都对激光器的性能造成极其重要的影响，这些影响包括:
A 脉动能量
B 输出功率
C 充填一次气体的使用寿命
D 稳定性（一个脉动到另一个脉动）
为了确保激光器性能的最优化，气体的化学家研究团队认真分析每种气体化合物，特别监控对激光器性能有害的杂质气体，以确保产品的质量。这些分析主要针对（但不仅限于）水分、氧气、碳氢化合物、和其他一切不必要的杂质。
