砷烷是GaAs、GaAsP生长、N型硅外延、扩散、离子注入掺杂等不可缺少的基础材料，因其剧毒、纯度要求高，合成、净化难度大等因素，目前能制造AsH3的国家为数不多，同时由于局毒性，在当今的国际大背景下，AsH3的进口十分麻烦。
AsH3的合成方法非常经典，也是目前较为普遍的工艺。制备分两步：原料的合成采用混合的Zn粉及As粉在600~620摄氏度下高温合成，其反应：Zn+As→Zn3As2;另一步是用Zn3As2同稀硫酸作用，Zn3As2+H2SO4→AsH3+ZnSO4,产品的收率为80%以上。生成的AsH3杂质的含量取决于Zn3As2的纯度，通过系列的提纯单元，AsH3纯度大于99.9995%以上。
国外有学者研究出新的无机氢化物的合成方法，只是没有形成规模化。该工艺的优点是可以生产系列有价值的氢化物：
PCl3+LiH→PH3
AsCl3+LiH→AsH3
SbCl3+LiH→SbH3
相信这种新技术或许会对一些烷类气体合成的突破起到重大的作用。
