高纯气体(High Purity Gases)是气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.199%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99199%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮，氢，氩，氦可作为运载气，保护气和配制混合气的底气。 高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体。 高纯氢气和高纯氮气都是无极高纯气体。 纯度是氮气的一个重要技术参数，按国标氮气的纯度分为工业用氮气、纯氮和高纯氮气三级，它们的纯度分别为99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％) 食品包装中使用的氮气纯度必须达到纯氮级（即安全级）。
高纯氮气《GB/T8980-1996高纯氮》氮气含量：合格品99.999％（V/V），优等品99.9996％
