硅烷
硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤，如果严重甚至会致命。如果火焰或高温作用在硅烷钢瓶的某一部分会使钢瓶在安全阀启动之前爆炸。如果泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近。处理紧急情况的人员必须要有个人防护设备和适应当时情况的防火保护。不要试图在切断气源之前灭火。
氩气
氩气在常温常压下为无色无臭无味无毒的惰性气体，在空气中约含1%。它不燃烧，无腐蚀性，微溶于水和有机溶剂，在101.325kPa时它在水中的溶解度为0.0519ml/g(0℃)，0.0329 ml/g(20℃)，0.0247ml/g(40℃)。在20℃和101.325kPa时，在 一些溶剂中的溶解度为：甲醇中25.0ml/100ml,乙醇中24.0ml/ 100ml，丙酮中27.3ml/100ml，环己烷中30.6ml/100ml，苯中22.1ml/100ml。
甲烷
甲烷（CH4）在常温常压下是无色、无味、无臭、无毒气体。植物在没有空气的条件下腐烂以及一些复杂分子经过断裂最终会生成甲烷。天然气的主要成分就是甲烷，煤矿的瓦斯气和沼气池中也含有大量的甲烷。
甲烷（CH4）为无色无臭的可燃气体，也是优质的民用燃料，自燃点为538℃，燃烧时呈蓝色火焰，最高温度可达1400摄氏度左右，纯甲烷的发热量为36.8kJ/m³，沼气每立方米的发热量为23.4kJ。
六氟化硫
六氟化硫为无色、无味、不燃烧，无电抗性的、相对无毒、仅有窒息性的液化气体。液化瓶装气体，压力为其蒸气压(202.78 kgf/cm2 @21.1°C)。六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，被广泛应用于电器工业，如：断路器、高压开关、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。SF6还因其化学惰性、无毒 、不燃及无腐蚀性，还被广泛应用于金属冶炼（如镁合金熔化炉保护气体）、航空 航天、医疗（Ｘ光机、激光机）、气象（示踪分析）、化工（高级汽车轮胎、新型灭火器）等。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。随着当今科技的发展，SF6涉及的领域不断扩展，被越来越多的基础领域和科技领域广泛应用，在制冷行业，用六氟化硫做制冷剂，致冷范围可在-45℃～0℃之间。
丙烯
丙烯在在常温下为无色、易燃、略带甜味的气体。因其结构上带有双键，所以化学性质活泼，易发生加成反应（羟基、烷基、卤化）、氧化反应和聚和反应。与空气混合可形成爆炸性混合物。气体相对密度为1.46（空气为1），液体相对密度为0.5139。熔点为-185.2℃，沸点为-47.7℃，闪点为-66.7℃，自燃点为455℃，临界温度91.4~92.3℃，临界压力4.5~4.56MPa，爆炸极限为2.0%~11.1%(体积分数）。
丙烷
丙烷又名二甲基甲烷（Dimethylmethane）和丙基氢化物（Propylene hydride），常温常压下为无色无味的易燃气体。易溶于醇、醚、氯仿，能微溶于水。在自然界主要存在于天然气油田气或石油中。
丙烷是易燃易爆的低压压缩气体，在空气中的自然温度为468℃，爆炸极限为2.3~9.5%，因此丙烷在空气中的爆炸浓度较低，所以，不论是生产现场，还是储运和使用环境，均应按相应规范配置防火防爆安全设施，所有充罐丙烷的容器必须按有关规定的要求称量充装，严禁过量充灌，所有可燃气体钢瓶的阀门接口均应有别于惰性气体，为反丝（逆时针方向进）的螺纹接口。
四氟化碳
四氟化碳是不燃烧的无色、无味的压缩气体，充装于四氟化碳钢瓶中，饱和蒸汽压约压力2000 psig。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于四氟化碳的化学稳定性，四氟化碳可用于金属冶炼，例如：铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等；还可用于塑料行业；如：合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。
