一氟硅烷《气体应用大全》

1.别名·英文名

一氟三氢硅；Fluorosilane．

2.理化性质

分子量： 50.11

沸点： -98.0℃

相对密度(气体，空气=1)： 1.73

一氟硅烷为具有腐蚀性的可燃性有毒气体。其它参见六氟乙硅烷。