五氟化砷《气体应用大全》

1.别名·英文名

Arsenic pentafluoride．

2.用途

离子注入。

3.理化性质·毒性

分子量： 169.9

熔点： -79.8℃

沸点： -52.9℃

液体密度： 2230kg/m3

气体密度(0℃)： 7.71kg/m3

五氟化砷在常温常压下为无色有毒气体，遇到潮湿空气发白烟，产生氟化氢和As2O3。遇水分解，腐蚀玻璃。

最高容许浓度为：0.2mg/m3。

参见三氟化砷。