1.别名·英文名
氟化砷；Arsenic trifluoride．
2.用途
外延、离子注入、氟化剂。
3.制法
(1)往亚砷酸与氟石的混合物中缓慢加入过量浓硫酸，并加热。
As2O3+3CaF2+3H2SO4→2AsF3+3CaSO4+3H2O
(2)三氯化砷与氟或氟化氢反应：
4.理化性质
分子量： 131.92
熔点： -8.5℃
沸点(100.258kPa)： 63.0℃
液体密度： 2670kg/m3
蒸气压(13.2℃)： 13.332kPa
(41.5℃)： 53.329kPa
三氟化砷在常温常压下为油状有毒液体，在湿空气中发烟，遇水分解出亚砷酸和氟化氢。
2AsF3+3H2O→As2O3+6HF
与其它氯化物反应时，氟离子取代氯离子。
3SiCl4+4AsF3→3SiF4+4AsCl3
与氯反应生成吸湿性的固体化合物AsCl2F3。在常温它不燃烧，但遇到高热时发出有毒气体。在常温时比氯化砷易挥发。
5.毒性
最高容许浓度：0.2mg/m3。
三氟化砷是剧毒物质，在卤化砷中，其毒性最强。它的蒸气和烟雾能刺激和腐蚀眼睛、皮肤和呼吸道粘膜。吸入后，刺激上呼吸道、支气管、肺泡，引起头痛、呼吸障碍、神经障碍、肺气肿等症状，也能损伤肝、肾和心脏。对骨骼和牙齿也有腐蚀作用(参见氟化氢)。
6.安全防护
三氟化砷在有水分时，腐蚀性很强。金、白金、蒙乃尔能耐腐蚀。铜、镍在干燥状态下也能耐蚀，但在有水分存在时不耐蚀。呵以用聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚合体，不能用聚苯乙烯和聚硫胺。
三氟化砷要存放在阴凉干燥的地方，要远离火种和热源。要与食品添加剂、酸类分仓存放。
废料要用苛性钾等碱性溶液处理使之分解，用盐酸氧化后用硫化氢饱和，过滤沉淀，干燥后送至废物处理厂。
