1.别名·英文名
氟化磷；Phosphorus pentafluoride、Phosphoric fluoride．
2.用途
电子气，等离子干刻，离子注入，氟化剂，聚合、烃化、脱烃及烃类裂化反应时作催化剂。
3.制法
(1)PF3+F2(过量)→PF5
(2)五氧化二磷或五氯化磷与氟石灼烧制取。
6P2O5+5CaF2→2PF5+5Ca(PO3)2
(3)五氯化磷和三氟化砷激烈反应而生成。
3PCl5+5AsF3→3PF5+5AsCl3
4.理化性质
分子量： 125.966
熔点： -93.8℃
沸点(101.325kPa)： -84.5℃
液体密度(-84.5℃，S.P.)： 1636kg/m3
气体密度(0℃，101.325kPa)： 5.765kg/m3
(20℃，101.325kPa)： 5.372kg/m3
相对密度(气体，空气=1，20℃，101.325kPa)：4.46
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.1935m3/kg
临界温度： 19.0℃
临界压力： 3394kPa
临界密度： 624kg/m3
熔化热(-93.8℃，56.9kPa)： 94.2kJ/kg
气化热(-84.6℃，101.325kPa)： 136.6kJ/kg
比热容(气体，25℃，101.325kPa)：Cp=666.5J/(kg·K)
蒸气压(174.05K)： 39.997kPa
(191.55K)： 119.990kPa
(201.25K)： 199.983kPa
折射率(气体，25℃，101.325kPa)： 1.0005878
五氟化磷在常温常压下为具有刺激臭的无色有毒腐蚀性气体。热稳定性好，空气中不燃烧。但是只要有少量水分就水解生成氟化氢和氟氧化磷POF3，而POF3最终转变成磷酸。因此，它在空气中强烈地发烟。它是强氧化剂，能与三甲基胺激烈反应，也能与NH3、N2O4、NOF等反应。十分干燥时，即使在250℃也不侵蚀玻璃。不与氢、氧、磷、硫等物质反应。遇水水解生成氟化氢和磷酸。
5.霉性
在PF5浓度为250ppm时，还没有达到致死的程度，但是在1000ppm时，在85分钟以内就可致死。
最高容许浓度：3ppm(2mg/m3)
五氟化磷水解生成的氟化氢和磷酸，对眼、皮肤和粘膜有强烈的刺激性，能引起腐蚀性灼伤，吸入后可导致呼吸道炎症和肺水肿。
急性中毒的症状有刺激眼睛、流泪、哮喘、呻吟声、支气管呜音、支气管炎、肺水肿等。慢性中毒的症状有咳嗽、呼吸困难、喘息性痉挛等，也能引起皮肤炎、皮肤灼伤、眩晕、头痛、食欲不振、恶心呕吐、肋肌痛、肺水肿、肾炎等。
6.安全防护
工作时不能露出皮肤。工作场所要保持空气新鲜干燥，严防受潮。所有用于PF5的设备管道容器要严格密封，而且在使用前必须用干燥空气吹洗后抽真空，然后通氟气钝化。可根据PF5本身的烟雾和刺激臭或氨水法检漏。暂停工作的设备也不能在空气中打开，而应在真空或氮等惰性气体保护下存放。
五氟化磷腐蚀性很强，不能用普通的材料。可用的材料有蒙乃尔、因科镍合金、镍、金、聚四氟乙烯和聚三氟氯乙烯聚合体。在低于250℃的干燥气体中可以用玻璃。
泄漏的气体可用排风机排送至水洗塔或与水洗塔相连的通风橱内。废气可用水吸收，用苛性钾等碱溶液中和。
