1.别名·英文名
氟化亚磷；Phosphorus trifluoride、Phosphorus fluoride。
2.用途
发生气体、氟化剂、外延、离子注入。
3.制法
(1)三氟化砷和三氯化磷作用。
(2)3F2(适量)+2P→2PF3
4.理化性质
分子量：87.969
熔点(101.325kPa)： -151.3℃
沸点(101.325kPa)： -101.2℃
液体密度(171.95K，S.P.)： 1574kg/m3
(0℃)： 1130kg/m3
气体密度(25℃，101．325kPa)： 3.590kg/m℃
相对密度(气体．空气=1，25℃，101.325kPa)：3.03
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m3/kg
临界温度： -2.0℃
临界压力：4326kPa
临界密度： 592kg/m3
气化热(171.95K)： 165.94kJ/kg
比热容(气体，25℃，101.325kPa)：Cp=667.16J/(kg·K)
蒸气压(122.15K)： 1.333kPa
(165.15K)： 66.661kPa
(184.45K)： 199.983kPa
导热系数(气体，25℃，101.325kPa)：0.0164W/(m·K)
粘度(气体，25℃，101.325kPa)：0.01871mPa·s
三氟化磷在常温常压下为无色无味有毒气体。液态为无色透明。空气中不太发烟，相当稳定。加热时与氢反应生成PH3。能被水缓慢分解成亚磷酸和氟化氢。碱中也能分解。可溶于乙醇。除在高温外，不腐蚀玻璃。
5.毒性·安全防护
小鼠--吸入LCLo:1900mg/m3·10分钟
最高容许浓度：1ppm
三氟化磷是极毒物质。它水解生成的亚磷酸和氟化氢对皮肤、眼睛及呼吸道粘膜有刺激作用，其症状与五氟化磷及卤化磷大致相同(参见氟化氢和五氟化磷)。
对干燥气体可用钢、镍、蒙乃尔等。
废弃的三氟化磷，要均匀地散布在由苏打灰和消石灰以l：l的比例混合的混合物上面，然后进行混合伴匀，再小心地喷水雾，接着移入大量水中进行中和。
