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丙硅烷《气体应用大全》

   2019-08-04 100
导读

丙硅烷《气体应用大全》

1.英文名·别名

Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisilicon octahy-dride、Silicopropane.

2.用途

半导体硅膜制造、非晶硅制造。

3.理化性质

分子量: 92.33

溶 点: -117.4℃

沸 点: 53℃

液体密度(-117.4℃): 725kg/m3

气体密度(0℃,101.325kPa):4.15kg/m3

比热容(气体,27℃): 1256.04J/(kg·K)

粘度(20℃):0.00318 Pa·s

丙硅烷在常温常压下为可燃性有毒液体。它具有与硅烷类似的化学性质,但其反应性比硅烷和乙硅烷更强。在空气中能自燃。它在空气中的爆炸范围不详,但是可以估计、比硅烷的爆炸范围还大。因此,当把它与空气接触时,为安全起见,必须把浓度控制存0.1%以下。丙硅烷的热稳定性也比硅烷差,靠其放电能量也可使其分解成si和H2。它不溶于水,不与酸反应,但能与碱反应生成硅酸和氢。与单体卤素激烈反应。它无腐蚀性。

4.毒性·安全防护

丙硅烷容器要存放在阴凉通风良好之处,要远离热源和火种,要与其它可燃性物质和腐蚀性药品隔离,库温不宜超过40℃,避免阳光直射。搬运时要轻装轻卸,严防容器受撞击。

着火时要切断气源,通惰性气体以控制火势,单纯靠灭火剂来灭火是不行的。

排放丙硅烷废气时,必须是在完全分解之后排放,或者是在严格控制之下燃烧掉。具体的作法如下:

(1)导入液化石油气等连续燃烧的火焰中,使其一同燃烧掉。

(2)通入碱性水溶液中,使其全部水解。

(3)通入碱金属(Na、Li等)的低级醇溶液中(约0.5%),使其水解。

参见硅烷。

7.丙硅烷《气体应用大全》

1.英文名·别名

Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisilicon octahy-dride、Silicopropane.

2.用途

半导体硅膜制造、非晶硅制造。

3.理化性质

分子量: 92.33

溶 点: -117.4℃

沸 点: 53℃

液体密度(-117.4℃): 725kg/m3

气体密度(0℃,101.325kPa):4.15kg/m3

比热容(气体,27℃): 1256.04J/(kg·K)

粘度(20℃):0.00318 Pa·s

丙硅烷在常温常压下为可燃性有毒液体。它具有与硅烷类似的化学性质,但其反应性比硅烷和乙硅烷更强。在空气中能自燃。它在空气中的爆炸范围不详,但是可以估计、比硅烷的爆炸范围还大。因此,当把它与空气接触时,为安全起见,必须把浓度控制存0.1%以下。丙硅烷的热稳定性也比硅烷差,靠其放电能量也可使其分解成si和H2。它不溶于水,不与酸反应,但能与碱反应生成硅酸和氢。与单体卤素激烈反应。它无腐蚀性。

4.毒性·安全防护

丙硅烷容器要存放在阴凉通风良好之处,要远离热源和火种,要与其它可燃性物质和腐蚀性药品隔离,库温不宜超过40℃,避免阳光直射。搬运时要轻装轻卸,严防容器受撞击。

着火时要切断气源,通惰性气体以控制火势,单纯靠灭火剂来灭火是不行的。

排放丙硅烷废气时,必须是在完全分解之后排放,或者是在严格控制之下燃烧掉。具体的作法如下:

(1)导入液化石油气等连续燃烧的火焰中,使其一同燃烧掉。

(2)通入碱性水溶液中,使其全部水解。

(3)通入碱金属(Na、Li等)的低级醇溶液中(约0.5%),使其水解。

参见硅烷。

 
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