特种气体可能存在窒息性、腐蚀性、毒性、易燃易爆性等危险,其危害性被不同国家区域和不同的工业组织进行了详细的危险等级分类。对于一个大规模量生产的电子厂,其储存和使用的特种气体数量之多,可以毫不夸张的被视为拥有“大规模杀伤性”武器库。任何设计、施工、日常运作中存在的安全隐患都会对工厂、人员和环境带来巨大的灾难,如何保证特种气体的安全储存和使用是每一个生产和使用企业越来越重视的问题。按照特种气体与钢瓶包装材料反应性质进行分类,大致可分为不反应、反应、腐蚀性、不稳定四大类。
1、不反应。通常情况下,这些气体不和外界空气、包装材料或常见的特种气体中的杂质起反应,此类气体的保质期通常≥36个月:Air,Ar,CFH3,CF2H2,CF3H,CF4,CH4,CO2,C2F6,C3F8,C4F8,C5F8,He,Kr,Ne,Xe,N2,N2O,O2,SF6;
2、反应。这些气体会和外界空气或标准的包装材料起反应。此类气体的保质期通常≥24个月:AsH3,CO,D2,GeH4,H2,NF3,PH3,SeH2,SiH4,Si2H6;
3、腐蚀剂。这些气体通常在微量水的存在下与包装材料反应,此类气体的保质期通常≥18个月:BCl3,BF3,ClF3,Cl2,F2,GeF4,HBr,HCl,HF,NH3,PF5,SiCl2H2,SiCl3H,SiCl4,SiF4,WF6;
4、不稳定。这些气体受热不稳定并且随着时间会自然分解,此类气体的保质期通常≥6个月:B2H6,NO