表2中所列要求是按美国联邦标准209提出来的。
3．《美国联邦标准209》
1963年10月美国政府批准实施了适用于洁净室、洁净工作站的《联邦标准209》，随后，经过5次修订，到1988年7月颁布了《美国联邦标准209D》。
可见，为适应电子技术迅速发民的要求需要不断高速和修订有关标准。我国目前的规范内容基本上相当于《美国联邦标准209A》（1966年8月）的水平。
4．《美国联邦标准209D》
在该标准中，悬浮粒子洁净度级别按表3和图2确定。
该标准与《美国联邦标准209》相比，圈套的不同有以下几点。
（1）增加了 1级和10级洁净等级；
（2）在1级和10级内分别列有0.1、0.2、0.3和0.5µm挡次，同时，在多用的100级内，同0.5µm粒子一样，也列入了0.2、0.3µm两个挡次。
（3）可准确地确定其它级别，如50级等；
注：NA表示不采用
（4）增加了两个表（表3、4）
根据这样的标准，对照表3，不难看出，对于0.2—1级，即粒径≥0.2µm的粒子，在每立方英尺中不得超过7.5个；对于0.5—1级，即粒径≥0.5µm的粒子,在每立方英尺中不得超过1个.
在《美车联邦标准209D》中，除表3之外，还对粒子测定时的取样气体数作了规定，见表4。
表4 测定粒子尺寸和确定空气洁净等级时每次最小取样容积（立方英尺）
在同一环境况关下，取亲容积不同时，所含水量粒子数也不同，因此，对取样的最小容积作了限制性规定。
由于粒子计数器是在大气压下工作的，所以，在我们的代表气技术中，对粒子的测定取样，也要降到大气压下来进行测定。
目前，各国在提供高纯气体时，对于粒子的含量，基本上按《美国联邦标准209D》要求进行，我国也是如此。我国现在的技术措施和规范尚不能满足使用要求，我们希望有关部门对原有措施、规范尽快修订，对高纯气体的应用技术也应建立相应的技术措施、规定和标准。
