制氧机爆炸的部位在某种程度上与空分设备的型式有关。在高、中压、双压流程中，发生爆炸的可能性相对较多；生产液氧的装置，主冷未发生过爆炸，而气氧装置的主冷却是爆炸的中心部位。爆炸破坏的程度与爆炸力有关，微弱的爆炸可能只破坏个别的管子，甚至未被操作人员所察觉。
冷凝蒸发器的爆炸部位，随其结构型式不同而有所不同。一般易发生在液氧面分界处，以及个别液氧流动不畅的通道，也有发生在下部管板处或上顶盖处。对辅助冷凝蒸发器，爆炸易发生在液氧接近蒸发完毕的下部。
据统计，除冷凝蒸发器外，在其他部位也发生过爆炸。计有：下塔液空进口下部；液空吸附器；上塔液空进口处的塔板；液氧排放管；液氧泵；切换式换热器冷端的氧通道；辅助冷凝蒸发器后的乙炔分离器等。
不论在哪个部位爆炸，其原因均有液氧(或富氧液空)的存在，并在蒸发过程中造成危险物的浓缩、积聚或沉淀，组成了爆炸性混合物，在一定条件下促使发生爆炸。
