清洗方法是先用热水(80℃左右)清洗，而后将水放净，经加温干燥后，再用四氯化碳、酒精、二氯乙烷等药剂清洗。若是因碱液进塔而进行清洗，可用60～80℃的温水洗，并用酚酞检查清洗后的水，直到没有碱性为止。
清洗过程一般是先上塔，后下塔，再洗主热交换器，以节省清洗药剂。方法一般是用淋洗法。可用泵或氮气将清洗液压至洗涤部位的顶部，洗涤液即沿塔板、管壁淋下，从底部排出回收。
洗涤后，整个空分设备必须加温吹除，而加热时间应比一般加温时间长，以免残留洗涤液。同时应注意将液面计阀、压力表阀和分析阀均打开，以防液体积存在小管中。加热后吹除时间不小于8h，直至吹除气体中无洗涤液气味为止。因二氯乙烷易燃，吹除时必须用热氮气。四氯化碳对铝的腐蚀性大，清洗后应注意及时吹除彻底。
