法液空新推氟气清洗方案

　　据了解，从2012年起，平板显示器和硅基薄膜光伏制造厂将可以用上这种新型的氟气清洗解决方案，该方案不仅能为客户带来显著的经济效益，同时也有益于环境保护。另外，因其可通过大型现场制气装置直接生产，还可帮助客户提高生产力。该解决方案推出后，此前该行业广泛应用的清洗气三氟化氮将被替代。