2025年3月24日,大连金普新区生态环境局对大连科利德光电子材料有限公司先进半导体材料产业化项目(一期)的环境影响评价文件进行了审批前公示。
该项目位于大连金普新区松木岛化工产业开发区纬一街7号,处于大连科利德光电子材料有限公司现有厂区内。项目内容包括在南厂区新建1栋混气间及1座管束式集装箱棚,并在混气间内设置1条混合气生产线;在北厂区现有甲类车间内新建1条高纯乙硅烷生产线和1条高纯环戊二烯基三(二甲氨基)锆生产线。此外,研发检测中心将增加高纯三氟碘甲烷、高纯三甲基铝、高纯四甲基硅烷、高纯二碘硅烷、高纯八氟环戊烯、高纯三甲基硅烷、高纯六氟丁二烯、高纯八氟环丁烷的纯化小试试验,并配备新增的环保设施。其他生产线的环保设施则依托现有设施。
项目主要产品包括高纯乙硅烷、高纯环戊二烯基三(二甲氨基)锆、硼烷混合气和磷烷混合气,设计生产规模为每年133吨。