3月7日,泉州市生态环境局对博纯(泉州)半导体材料有限公司“年产3300吨电子材料项目(二期)”的审批意见进行了公示。该项目位于泉州市惠安县东桥镇泉惠石化工业园区,总投资1.03亿元人民币。
项目一期已于2024年7月19日通过阶段性环境保护竣工验收,建设规模为年产电子材料约900吨,涵盖乙硼烷、羰基硫、氘气、氟气等气体的生产,以及丙烯、氪气、氙气、BTBAS、一氧化碳、六氟丁二烯、砷烷、磷烷、一氟甲烷、正磷酸、三氟化硼、锗烷、氖气等气体的提纯、分装及混配。
因市场需求增长,建设单位计划在一期基础上新增年产电子材料170吨,扩建后总规模达1070吨/年。此次扩建将在一期项目丙烯生产线增加提纯工序,并在车间三预留位置增设多条生产线,包括4吨/年三氟化硼混合氢气充装线、0.02吨/年四氟化锗混合氢气充装线、0.5吨/年一氧化碳分装线、1.5吨/年三氟化硼分装线、1.5吨/年磷烷分装线、3.6吨/年砷烷分装线,以及在现有车间一预留位置增设58.88吨/年三氟化磷分装线。
该项目的扩建将进一步提升泉州市在电子特气领域的生产能力和市场竞争力,助力半导体产业的发展。