和远气体获得超高纯氯化氢气体的制备装置及其工艺发明专利

和远气体1月15日晚间发布公告称，湖北和远气体股份有限公司关于公司取得发明专利证书的公告。专利名称为“一种半导体用超高纯氯化氢气体的制备装置及其工艺”。

本发明专利“一种半导体用超高纯氯化氢气体的制备装置及其工艺”是一种以工业产品气体为原料，采用高分子渗透膜、金属阳离子交换树脂、稀土金属化合物脱水与高压精馏的结合，可将组分中 CO2 杂质脱除至 0.1ppm 以下、金属离子含量脱除至 10ppt 以下；所述制备工艺摆脱了现有技术对原料的依赖，在生产超高纯氯化氢气体的同时产生多种品质的氯化氢气体，尾气减少的同时易于处理，适用于工业化推广。