近日，珠海市工业和信息化局公开征求《珠海市电子化学品产业发展三年行动方案（2025—2027年）（征求意见稿）》意见。
致力于发展我国电子化学品“卡脖子”技术以及进口替代产品，支持引育一批掌握新工艺、新技术的团队或中小型科技企业，推动产业链条向高附加值领域攀升。
（一）半导体集成电路及分立器件用电子化学品
1.基材
重点发展8英寸、12英寸硅片，碳化硅、氮化镓、磷化铟等新一代化合物半导体衬底材料及外延片；前瞻布局氧化镓、锑化镓、锑化铟等第四代半导体材料。
2.制程化学品及材料
抛光材料。依托现有化学机械抛光（CMP）浆料及抛光垫重点企业，重点发展氧化铝、氧化铈、氧化硅、氧化钨、氮化硅、氮化铝等高纯研磨颗粒，硝酸铈、硝酸铝、硝酸镍等高纯抛光剂，以及软质（聚氨酯垫、细毛毡垫、绒毛布垫）和硬质（纤维织物垫、聚乙烯垫）抛光垫等。
光掩膜版。重点发展匀胶铬版光掩模版，KrF、ArF移项光掩模版，前瞻布局深紫外光（DUV）掩膜版。
超净高纯电子特气。重点发展氮、氧、氩、氢、氦等背景气；四甲基环四硅氧烷（TMCTS）、正硅酸乙酯、乙硅烷、丙硅烷、二乙基硅烷（DES）等硅烷气；硼烷、锗烷、磷烷、硒烷、甲烷、乙烷、丙烷、丙烯、CO、CO2等超净高纯电子特气。
