近日,林德联华签署了一项长期协议,为位于台湾嘉义的最先进的半导体先进封装工厂供应超高纯度气体。该设施由全球领先的半导体制造商之一拥有,标志着台湾省作为半导体创新中心日益增长的作用的关键发展。
根据协议,林德联华将建造、拥有和运营一个综合体现场工厂,以供应超高纯度氮气、氧气和其他对半导体制造至关重要的大宗气体。该公司已承诺为该项目投资约 1.9 亿美元,预计将于 2025 年 8 月开始运营。
林德联华总裁兼总经理 Alex Tong 对此次合作充满热情,他表示:“我们很荣幸也很高兴被选为这个重要新设施的供应商。我们在过去四十年中安全可靠的供应记录使林德联华成为台湾省的首选合作伙伴。利用我们的创新技术和丰富的经验,我们将继续为客户提供解决方案,帮助他们提高效率。
半导体制造中的工业气体
半导体行业依靠一系列工业气体来确保制造过程中的精度和质量:
氮气用于吹扫和创造惰性气氛以防止氧化。
氧气支持氧化和化学气相沉积等过程。
氢气对于热处理和还原气氛至关重要。
氩气可确保晶圆刻蚀等关键工艺中的惰性环境。
氟基气体在蚀刻和清洁中起着至关重要的作用。