12月5日,福建恒申电子材料科技有限公司电子级特种气体项目(三期) 环境影响报告书全本公示
本项目位于连江可门经济开发区,拟在一期、二期工程基础上扩建超纯氨、配气(超纯氢气和超纯氮气)、磷烷、砷烷配气和氟氮混配气、激光气混配气等生产工艺装置,项目新建仓库、维修车间等公辅设施,并设置相应的环保处理设施,其余依托现有工程。项目计划总投资49291.76万元。
主要生产规模为:
1)超纯氨9900吨/年,工业氨100吨/年;氨水4160吨/年,硫酸铵溶液(副产品)8.089吨/年;
2)超纯氢气(作为磷烷、砷烷混配气原料)92.3吨/年;超纯氮气其中作为磷烷混配、砷烷混配气原料116.8吨/年,作为氟氮混配气、激光气混配气原料213.6吨/年;剩余超纯氢气260.5吨/年和超纯氮气4672.1吨/年
3)磷烷混配气(磷烷混氢、磷烷混氮、磷烷混氦、磷烷混氩)其中磷烷含量120吨/年;砷烷混配气(砷烷混氢、砷烷混氮、砷烷混氦、砷烷混氩)其中砷烷含量60吨/年
4)氟氮混配气(F2/N2混气、F2/Ar/Ne、F2/Kr/Ne)其中氟气含量62.2吨/年;其他各种混配气(Xe/Ar/Ne、Kr/Ne、He/N2、H2/He、Kr/N2、Kr/He、Ar/He)51.9吨/年;激光气(Ar、Ne、Kr、Xe)156.3吨/年;氢氟酸(副产品)13.5吨/年