8月22日,衢州市生态环境局智造新城分局受理了浙江博瑞中硝科技有限公司1002吨/年含氟电子气体提质增效项目环境影响报告书并予以公告。
以下是该项目具体信息:
项目名称:1002吨/年含氟电子气体提质增效项目;
建设单位:浙江博瑞中硝科技有限公司;
建设地点:衢州智造新城巨化集团有限公司厂区中部;
项目投资:15000万元;
建设内容及规模
项目分两期建设,其中,一期为202t/a氟氮混合气提质增效项目,项目二期为800t/a高纯六氟化钨产能提升项目。项目一期202t/a氟氮混合气提质增效项目拟在现有15t/a氟氮混合气生装置基础上,新增部分设备,并对现有产线进行升级改造,使装置具备202t/a氟氮混合气生产能力,项目二期800t/a高纯六氟化钨产能提升项目拟在现有200t/a高纯六氟化钨生产(含氟电子气体项目一期)装置基础上,通过升级改造,增加氟化反应工序产品生产能力,进而实现单产线高纯六氟化钨产能从200t/a达到400t/a,使公司高纯六氟化钨生产能力达到800t/a。
六氟化钨是一种无机化合物,化学式为WF6,常温常压下为无色气体,溶于多数有机溶剂。是唯一能稳定存在的钨的氟化物,具有极强的腐蚀性,可根据外界环境的变化表现出灵活的物化性能,被广泛应用于工业生产的各个领域。 六氟化钨在电子工业中主要作为集成电路的配线材料使用,其在经过化学气相沉积工艺后可形成金属钨导Chemicalbook体膜,钨导体膜在集成电子学中通常被用作高传导性的互连金属、金属层间的通孔和垂直接触的接触孔以及铝和硅间的隔离层,因此被广泛应用于半导体集成领域;另外,六氟化钨还可以应用于太阳能吸收器以及X射线发射电极的制造、导电浆糊等电子元器原材料。