据日经新闻报道,因俄乌冲突引发的全球半导体用稀有气体(电子特气)供应不稳,对此,日本工业气体巨头大阳日酸已宣布将增产半导体制造所需的稀有气体“氪(krypton)”和“氙(xenon)”,将产能倍增。
据介绍,大阳日酸将在和JFE Steel共同出资的JFE Sanso Center福山工厂内导入制造设备,其中氪年产能为260万升(L)、氙为21万升,并预定2024年4月启用生产,导入量产后,大阳日酸的氪、氙产能将扩增至目前的约2倍。
目前,大阳日酸仅利用日本大分工厂生产氪、氙,年产能分别为200万升、25万升。
资料显示,日本所需的电子特气高达70%-80%依赖进口,但是因俄乌冲突等因素影响,导致电子特气供应不稳。氪使用于半导体蚀刻工程的光源、氙用于半导体制造时的雷射光源。日本所需的氪大半仰赖进口,其中大部分为中国产、部分为乌克兰产。