使用DID气相色谱法检测电子级高纯氧气中的杂质

摘要:电子材料生产工艺中，采用高纯度的氧气参与反应，氧气的纯度直接影响电子材料的品质。因此，高纯氧气作为一种特气，对纯度的要求越来越高:美国GOW-MAC仪器公司生产的592 DID型气相色谱仪，配置美国GOW-MAC仪器公司的放电离子化检测器(DID-Discharge lonization Detector),使用高效色谱柱，实现了检测高纯氧气中的Ar、N2、CH4、H2、CO2、C2H4、 C2H2、C2H6等杂质的检测。

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