遇水反应的特种气体及应急处置措施

• 遇水反应有爆炸危险的物质1-56条;

气体圈子注意到，该名单中涉及多种用于半导体离子注入和掺杂的含磷、含硼、含硅气体；用于生产单晶硅、多晶硅或二氧化硅的含硅材料；用作MOCVD工艺中铝膜沉积材料。其应急处置措施整理如下，希望对气体生产、运输和使用的朋友有所帮助。如需完整版可以文末留下邮箱地址，气体圈子将为你及时发送。