近日，天津绿菱气体有限公司绿菱电子研发产业化基地项目举行奠基仪式。该项目位于天津经济技术开发区南港工业区，拟建成年产6000吨、47种电子特种气体产品，服务于半导体集成电路、光伏、光纤等高精尖领域。项目总建设投资3.2亿元，计划于2021年3月建成。
电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导特气网体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料。绿菱集团公司是国内领先的特种气体产品与服务提供商，为国内及全球多个著名芯片制造商提供产品和服务，公司打破了此前中国特种气体被国外垄断的历史，为中国集成电路产业发展与关键材料突破提供坚实支撑。
据天津绿菱气体有限公司总经理马建修介绍，项目研发生产的关键电子特种气体主要解决我国超大规模集成电路先进制程中的材料制约问题，为国家集成电路配套新材料产业提供重要保障。同时，天津绿菱气体有限公司将与京津冀相关集成电路制造企业实现协同发展，形成半导体产业集聚效应，推动天津传统制造业向高端智能制造转型升级。
文章来源：津滨网
