近日,林德宣布为积塔半导体建造的一台制氮机在上海开机成功,林德与积塔半导体签订了一份为期20年的超高纯工业用气供应合约,目前开机运行的为计划建造的两台高纯制氮机中的第一台,第二台预计将于2022年上线启用。
据悉,该台制氮机位于上海临港产业区,其安装和运行工作由林德旗下合资企业联华林德(Linde LienHwa)负责。该制氮机将为积塔半导体造价特气网高达51亿美元的晶圆制造厂供应各种超高纯度气体(如氮气、氧气、氩气、二氧化碳)以及压缩干空气(CDA)。
文章来源:气体分离
林德全新制氮机在上海开机成功
近日,林德宣布为积塔半导体建造的一台制氮机在上海开机成功,林德与积塔半导体签订了一份为期20年的超高纯工业用气供应合约,目前开机运行的为计划建造的两台高纯制氮机中的第一台,第二台预计将于2022年上线启用。
据悉,该台制氮机位于上海临港产业区,其安装和运行工作由林德旗下合资企业联华林德(Linde LienHwa)负责。该制氮机将为积塔半导体造价特气网高达51亿美元的晶圆制造厂供应各种超高纯度气体(如氮气、氧气、氩气、二氧化碳)以及压缩干空气(CDA)。
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