日前，经济开发区着力培育的特种气体新材料产业再添新亮点：派瑞科技产业园三氟化氮特种气体扩能项目主体竣工，年产能将达１３５０吨，成为全国最大、世界前三的特种气体新材料产业基地。
三氟化氮是一种微电子工业中使用的特种气体，广泛用于半导体、液晶显示器和薄膜太
阳能电池等领域。派瑞科技产业园既是开发区新材料企业的代表，也是国家级新材料产业基地的骨干企业。依托中船重工７１８研究所的科技研发优势，该公司坚持“开发别人不能简单复制的产品，做高端产品与外国人竞争”，通过不断的自主创新、刻苦攻关，在国内第一家率先成功研制出９９．９９％的高纯三氟化氮气体，并投入批量生产，打破了发达国家的技术壁垒。
目前，该产品核心专利技术填补了国内空白，先后被授予“国家重点新产品”、“省高新技术产品”等称号，有力地占据了价值链高端，国内市场占有率达８０％以上，国际市场占有率近３０％，远销日本、法国、美国、新加坡等国家和地区。 以三氟化氮为龙头，该区积极开发特种气体系列产品，现已实现年产三氟甲磺酸１００吨、高纯六氟化钨５０吨、高纯氨３００吨。预计到“十二五”末，该区特种气体新材料产业将成为国家火炬计划邯郸新材料基地的重要支柱之一，实现年销售收入２０亿元，利税６亿元。
