近日,记者从市商务局获悉,中船重工718研究所三氟化氮特种气体扩能项目主体竣工,年产能将达1350吨,成为全国最大、世界前三的特种气体新材料产业基地。
三氟化氮是一种微电子工业中使用的特种气体,广泛用于半导体、液晶显示器和薄膜太阳能电池等领域。 中船重工718研究所是国家科技兴贸创新基地新材料骨干企业。在国内率先成功研制出99.99%的高纯三氟化氮气体,并投入批量生产,打破了发达国家的技术壁垒。该产品核心专利技术填补了国内空白,被授予“国家重点新产品”等称号,国内市场占有率达80%以上,国际市场占有率近30%,远销日本、法国、美国、新加坡等国家和地区。以三氟化氮为龙头,成功开发特种气体系列产品,现已实现年产三氟甲磺酸100吨、高纯六氟化钨50吨、高纯氨300吨。