据日本经济新闻中文版1月9日报道,日本化工企业森田化学工业已重启用于尖端半导体制造的高纯度氟化氢的对韩国出口。该公司从日本政府获得许可,8日时隔约6个月恢复出货。
据报道,森田化学在韩国掌握约三分之一的市场份额,向三星电子和SK海力士等半导体厂商供货。高纯度的氟化氢呈液态,用于半导体晶圆的清洗,还成为蚀刻剂的原料。
2019年7月,日本政府对包括高纯度氟化氢在内的3种特气网材料加强对韩出口管制,森田化学的高纯度氢氟酸于7月之后处于无法出口的状态。此前,森田化学社长森田康夫在接受记者采访时表示,出口管制有可能导致日本企业的份额下降,2019年内将在中国浙江省的工厂启动高纯度氟化氢生产,今后将向三星等韩国半导体制造企业供应在中国工厂生产的高纯度氟化氢。
而另一方面,韩国本土的高纯度氟化氢企业也在积极实现国产。韩国贸易工业和能源部(Ministry of Trade, Industry and Energy)曾公开表示,韩国Soulbrain公司现在能够大规模生产12N氟化氢,即纯度水平为99.9999999999%。该部门还表示“Soulbrain已经扩大了产能,并已经逐步满足韩国国内大部分氟化氢的需求,为(韩)国产氟化氢供应带来稳定。
文章来源:日本经济新闻中文版