10月31日，林德宣布已启动新的Spectra高纯制氮装置，以支持一家领先的半导体制造商在上海张江高科技园区的扩张。
林德的氮气将用于整个新的半导体制造厂，支持直接生产工艺应用和各种半导体制造系统的常规吹扫和惰性化。新工厂由林德的合资公司联华林德(LLH)安装和运营，还将通过管道向工业园区中的现有客户供应氮气。
联华林德中国区总裁Stan Tang说：“我们已经与客户紧密合作，以扩展其先进晶圆加工设备所需的高纯度气体的基础设施。通过这项新的投资，我们很高兴能够安全可靠地支持客户的增长，同时还升级了基础架构以满足电子市场不断增长的需求。”
关于林德Spectra品牌
SPECTRA产品范围包括气体混合物，以支持用于眼科手术和半导体制造的高精度激光应用，氙气推动卫星穿越太空，以及最奇特的VOC校准气体混合物，用于高度敏感的环境测量和污染控制。
文章来源：气品网
