摘要:在高纯电子级四氟化硅生产与纯化中，很容易产生氟硅醚杂质，甚至可以与四氟化硅进一步聚合生成氟硅醚高聚物。该高聚物可从胶体迅速聚集成颗粒，很容易堵塞管道和吸附剂，极易发生安全事故。根据硅醚键氟化断裂的化学性质，设计了一系列基于金属氟化物组成的氟硅醚阻聚剂。结果显示，AgF2 阻聚剂具有阻聚热力学效率高、动力学速率快的特点，可以使氟硅醚杂质有效控制浓度在20 ppm以下。四氟化硅重复五十次(每次用量10kg)通过AgF2阻聚剂仍然具有优秀的阻聚性能，故该阻聚剂具有良好的长期稳定性。
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