中国空分网 近几年来，随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。记者在不久前召开的全国特种气体第十四次年会上了解到，我国国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯氯化氢已成功打开国内市场。
高纯氨：国内企业将成主力军
高纯氨作为电子工业中氮化膜的成膜气体，是化学气相沉积（CVD）重要的“氮”源。光明化工研究设计院总工程师孙福楠介绍说，2010年，国产高纯氨在太阳能领域发挥了巨大的作用。由于国产高纯氨进入市场，改变了国外气体公司垄断市场的局面。
据上海浦江特气总经理刘炜炜介绍，国外公司中除林德、法液空、日本大阳日酸等在国内建分装厂外，目前昭和电工、空气化学品（AP）、住友等也已在国内建立了高纯氨工厂，以应对竞争的加剧。面对这种局面，孙福楠显得十分自信，他介绍说，目前仅光明院一家每年就可以生产上千吨高纯氨，国产高纯氨正逐步占领国内市场。今后也必将成为中国IC、LED、太阳能电池等领域的主力，这只是一个时间问题。
高纯四氟化碳：“有价无货”时代已经结束
孙福楠介绍说，金融危机暴发前，由于国内不具备四氟化碳规模化生产能力，有钱也买不到产品，市场经常出现“有价无货”的现象。但随着国产高纯四氟化碳的入市，现在“有价无货”时代已经结束。据佛山市华特气体有限公司副总经理傅铸红介绍，目前国内市场每年需要高纯四氟化碳约1000吨，纯度达99.9995%的国产货基本可满足国内需求。
我国制氟技术的进步主要得益于军工技术的支撑，中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院、中船重工第七一八研究所和天津核工业理化工程研究院等长期以来依托雄厚的技术力量，为我国制氟技术的进步提供了重要的技术支持。
据了解，高纯四氟化碳气广泛应用于硅材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。我国目前有多家气体公司如北京绿菱气体科技有限公司、佛山市华特气体有限公司等生产高纯四氟化碳。
高纯氯化氢：成功打开国内市场
高纯氯化氢主要用于单晶硅片的抛光和外延，是硬质合金的重要原材料。北京华宇同方化工科技开发有限公司总经理张吉瑞告诉记者，目前我国每年需求高纯氯化氢100吨左右，一半以上靠进口。金融危机暴发前，高纯氯化氢国内市场一直被国外公司垄断，国产品牌很难打进去。华宇同方转变销售策略，将产品通过国外的中介商销售，获得了他们的认可，并逐步赢得了下游客户的信任。金融危机来临后，华宇同方趁国外企业修整之机迅速打开了国内市场。
孙福楠说，电子气体所涉及的不仅仅是一个产业化生产问题，也不单纯是一个资金投入的问题，首先要解决的关键是技术，国产电子气体一旦在市场上站稳，必将显示出其巨大的生命力、强大的竞争力。高纯氯化氢的国产化成功，无疑为其他电子气体的发展提供了借鉴。
